索尔维在2023 年台湾国际半导体展览展示全系列高等聚合物和特种化学品

提升所有半导体制造阶段的高效能极限• 2023 年 Q4 启动台湾最先进的电子级过氧化氢合资工厂

2023年9月6日，布鲁塞尔-全球领先特种材料供应商索尔维宣布将参与 2023 年台湾国际半导体展览，以向全球和当地的半导体制造产业展现其完整的材料产品组合，同时重点介绍将于位在台湾的新硕先进化工即将开始生产电子及过氧化氢的业务。

索尔维在 9 月 6 日到 8 日间，将于台北南港展览馆的 Q5848 摊位出展，将着重于高成本效益且具备永续性的解决方案，内容包括高等聚合物和研磨液磨料, 气体和湿化学品，其工程设计能够满足这个多变市场独特且复杂的制造需求，并以卓越的纯度, 长期的化学稳定性与优化的耐高温性以及等离子稳定性，不断突破蕊片性能的极限。

索尔维材料事业部高级执行副总裁Andrew Lau表示："我们投注了许多心力，为的是向台湾半导体产业的市场展现我们坚定的决心，也很荣幸分享能让所有半导体阶段更高效益且永续的程序。我们的研发, 生产和支援量能致力打造符合半导体制造发展路线，且为次世代程序所需的高效能解决方案。"

索尔维拥有长久的技术产业经验，在半导体产业所需的特殊聚合物和化学领域是经验丰富的领先供应商，证明其对于尖端半导体程序里充满挑战的情况所拥有的坚强韧性。专为满足最艰难的效能需求设计，索尔维能提供富含效率的协作能力，协助制造商降低每个程序步骤的碳足迹，其中包括前段制程 (FEOL), 后段制程 (BEOL), 测试和组装。

索尔维将在摊位上展示几项在 KetaSpire® PEEK, Torlon® PAI, Halar® ECTFE 和 Solef® PVDF 中铸造的结构和内部零件，展现索尔维专业的聚合物能为FEOL 程序带来的价值，这些程序包括干燥, 湿法蚀刻, 清洁, 化学气相沉积 (CVD), 化学机械研磨 (CMP) 和微影制程等。此外也会着重介绍用于 O 型环和轴封的 Tecnoflon® FFKM, 作为真空泵润滑液的 Fomblin® PFPE以及确保冷却机热传导正确的 Galden® PFPE。

索尔维也会介绍具备卓越永续性的几项材料解决方案。新的生物基聚合物化学能实现雄心壮志的生态目标。非氟化学物表面活性剂 (NFS) Tecnoflon® FKM 和其他永续生产的 Tecnoflon® FFKM 弹性体也展现了在干法蚀刻密封制造和各种作业温度中绝佳的等离子稳定性，同时呈现极低的粒子生成率。而 Halar® ECTFE 等级相对于 PFA 和 PTFE 针对湿式制程应用领域也提供了更永续的解决方案。

索尔维的许多特种聚合物也能延伸至晶圆管理, 管线镀膜, 过滤器, 管线安装，以及从晶圆级封装 (WLP) 到侦测和测试等 BEOL 程序。其产品组合也有专属的特种化学支援，例如蚀刻的清洁气体, 最佳化湿法蚀刻的 Interox® 过氧化氢 (H2O2) 以及 Cypure® PH3 罐装磷化氢掺杂气体。包括对全球暖化影响极低的液体在内，所有生产化学用品都提供市场上最高的纯度, 品质和一致性。

为确保公司持续致力确保特种化学长期供应的安全性，索尔维也对生产电子级 H2O2 投资了新的合资工厂，这是在晶圆清洗中必要的化学品。该工厂的基础来自索尔维其他位于亚洲, 欧洲和美国已经运行的 H2O2 工厂，预计于 2023 年第四季开始生产，地点位于台南科技园区，前期预估每年将有 30,000 顿的生产量能，且符合严格的国际品质, 永续和环境安全标准。